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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

等離子清洗機

描述:雅馬拓YSP63FA等離子清洗機:可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作。
  • 更新時間:2024-06-15
  • 產(chǎn)品型號:YSP63FA
  • 產(chǎn)品廠地:上海市
  • 訪問次數(shù):1158

產(chǎn)品介紹

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品特點:
可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作(選購品)。
提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質(zhì)。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品參數(shù):

型號

YSP63FA

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

反應(yīng)臺尺寸

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸)

反應(yīng)氣體

2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min)

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

其它同類產(chǎn)品如下:
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器:
產(chǎn)品特點:
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。
體積小,節(jié)省空間。
選用小型腔體,反應(yīng)效率高。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應(yīng)臺。

?

技術(shù)參數(shù):

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

2000W

反應(yīng)臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應(yīng)氣體

2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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